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激光三角扫描法检测微刻槽
被引量：
2
To Measure Slight Groove by Scanning of Optical Triangulation
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摘要
本文介绍一种激光三角扫描法微刻槽检测系统。该系统以激光三角法为基础 ,采用激光光斑能量细分方法 ,有效地解决了激光三角法由于光斑直径过大而引起的横向分辨力不足的问题 ,并容易做到微型化 。
作者
王彦勋
孙宏凯
牛连杰
机构地区
河北建筑工程学院
出处
《计量技术》
2002年第6期11-13,共3页
Measurement Technique
关键词
激光三角扫描法
检测
光束束径
光点细分
微刻槽
刻蚀
电子工业
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
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