乙炔热解沉积炭膜的动力学和机理

含乙炔2.5％的C_2H_2/He混合气在流动体系(添加或无氢)于1132和1179K在有利于炭沉积的条件下进行热解。沉炭速率的连续测量乃是将其作为在炭膜生长时增加着的导电率的函数来实现的。流出的尾气按一定的间隙进行分析乙炔,乙烯和乙烷。虽未直接测量,但苯的高级芳烃以及痕量的焦油和炭黑也在流出气体中被检出。在原料气体中氢分压的增加导致在给定温度下流出气中乙烯浓度线性的增加(图1),以及沉炭速率的下降;