运用统计分析工具解决质量问题

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摘要一、引言中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻ISO9002质量保证体系中,建立了一套闭环的统计过程控制(SPC)系统,利用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的运行状况.同时,还积极运用统计分析工具(如柏拉图、线形曲线拟合、相关性等)对一些质量问题进行分析,找出问题的根源,并以此加强相关参数的SPC控制,以预防类似现象的再次出现.

作者黄晓兰

机构地区中科院微电子中心

出处《中国质量》 2002年第6期19-20,共2页 China Quality

关键词统计分析工具质量管理中科院微电子中心 ISO9002 统计过程控制系统

分类号 F406.2 [经济管理—产业经济]

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