压电振梁及振动角速率传感器

研究了一种由石英做成的音叉角速率传感器。音叉平面内参照振动的激励和对该平面法向振动的检测都利用了压电效应。二次振动的振幅正比于所施加的角速度。为了使器件能经受恶劣环境条件,结构设计为刚性的。这就意味着,振动唯一的有效部分是音叉的叉头部分。借助于唯象的压电振梁的理论,预测了传感器的性能,该理论表明,这足以用来研究振梁横切面的二维(2—D)介电场,从而得到压电等效元件的值。无须采用计算机程序,便可得到这些预测值。预测值被证明与测量值比较吻合。