摘要
由于材料的晶格常数与热膨胀系数的不同，应变异质外延生长过程中引入大量缺陷，柔性衬底技术就是为了解决这一问题而发展起来的。本文对柔性衬底技术的发展历史进行了简要的回顾，系统地介绍了各种柔性衬底技术的发展现状，包括已经取得的成果以及存在的问题，并简要介绍了柔性衬底技术的理论基础。
出处
《金属材料研究》
2002年第2期1-6,共6页
Research on Metallic Materials
同被引文献40
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