摘要
为了合成CoSb3化合物薄膜,利用离子溅射法制作了Co/Sb多层薄膜,并在真空条件下于673K至773K温度范围内进行1-3h的退火。利用X射线衍射和透射电子显微技术评价了化学组分和退火条件对CoSb3相变的影响,研究了退火薄膜在高温下的热电特性。所得结果是:在70-85%Sb相当宽的组分范围内,成功地合成了CoSb3单相薄膜,CoSb3薄膜显现出P-型半导体特性,并且发现其热电转移特性几乎接近已报导的块材。研究还发现CoSb3薄膜的粒度、电导率和塞贝克系数取决于其退火后的化学组分。
出处
《金属材料研究》
2002年第2期60-64,共5页
Research on Metallic Materials