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SEM-EPMA中电磁物镜工作距离的探讨 被引量：1

A discussion about the working distance of magnetic electron objective of SEM-EPMA
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摘要 讨论了物镜工作距离 l和像差系数 Cs、Cc的关系 l/Cs、l/Cc。 The relation l/Cs, l/Cc between the working distance l of objective and aberations Cs, Cc is discussed in the paper. Their value for different parameters of objective are calculated and graphed.
作者 江家蓥
机构地区 南京江南光电(集团)股份有限公司
出处 《光学仪器》 2002年第3期20-27,共8页 Optical Instruments
关键词 SEM-EPMA 电磁物镜 工作距离 working distance objective
分类号 TH741.8 [机械工程—光学工程]
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参考文献1

  • 1A B El Kareh,J C T,El Kareh.Electron Beams, Lenses and Optics[]..1970

同被引文献9

  • 1蒋建国.电子显微技术的现状与发展[J].扬州教育学院学报,2003,21(3):13-16. 被引量：5
  • 2李永良.日立S-4800冷场发射扫描电镜的BSE功能[J].中国现代教育装备,2007(10):13-15. 被引量：8
  • 3OATLEY C W. The scanning electron microscope [M]. Britain Cambridge University Press, 1972.
  • 4郭素枝.扫描电镜技术及应用[M].厦门:厦门大学出版社,2006.
  • 5WONG W K, THONG J T L, PHANG J C H. Charging identification and compensation in the scanning electron microscope [C].//Physical &. Failure Analysis of Integrated Circuits Biomed Tech. Singapore, 1997:97- 102.
  • 6EI-KAREH A B, EI-KAREH J C T. Electron beams, lenses and optics [M]. New York: Academic Press, 1970.
  • 7NAGORNI M, HELL S W. 4Pi-confocal microscopy provides three-dimensional images of the microtubule network with 100- 150 nm resolution[J].J Struct Biol , 1998, 123 (5) : 236- 247.
  • 8JIANG Chang-zhong,REN Da-zhi (Department of Physics, Wuhan University, Wuhan 430072, China).Detection of Coaxial Backscattered Electrons in SEM[J].Wuhan University Journal of Natural Sciences,2000,5(1):41-44. 被引量：5
  • 9陈长琦,干蜀毅,朱武,王先路.扫描电子显微镜成像信号分析[J].真空,2001,38(6):42-44. 被引量：7

引证文献1

光学仪器
2002年 第3期

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