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采用步进电机、蜗轮副、精密丝杠实现数控进给
被引量:
1
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摘要
本文提出了在硅杯加工设备上采用计算机控制步进电机,通过蜗轮副与精密丝杠传动,实现平稳的高精度进给的方法。介绍了实现数控进给的机械原理,分析了进给精度与误差。
作者
刘沁
机构地区
沈阳仪器仪表工艺研究所
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1991年第1期13-15,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
步进电机
数控系统
硅杯
研磨机
分类号
TP212.03 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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仪表技术与传感器
1991年 第1期
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