Fe-Zr-B非晶磁性薄膜制备工艺对性能的影响

A Study of Effect of Process on Properties of Fe-Zr-B Amorphous Thin Film

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摘要用JGP560D型双室多功能磁控溅射仪成功制备了Fe-Zr-B非晶磁性薄膜,并获得了良好的磁性能。研究了制备工艺对薄膜性能的影响。 Fe-Zr-B amorphous thin film with good magnetic properties has been successfully prepared by DC Magnetron sputtering. The effect of process on its properties has been discussed.

作者徐炜新程新利金惠娟章靖国许裕生

机构地区上海市金属功能材料应用与开发重点实验室中科院上海冶金研究所江苏省苏州大学

出处《上海钢研》 2002年第2期15-19,共5页 Journal of Shanghai Iron and Steel Research

关键词 Fe-Zr-B合金非晶薄膜磁控溅射磁性能制备工艺 Fe-Zr-B alloy amorphous thin film magnetron sputtering magnetic properties

分类号 TM27 [一般工业技术—材料科学与工程] TG139.8 [一般工业技术—材料科学与工程]

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