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虚拟现实技术在硅微加速度计设计中的应用

Application of Virtual Reality in Micro-Accelerometer Design
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摘要 给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤 ,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境 ,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用于硅微加速度计设计中的可行性及实现步骤的正确性 。 The design method with virtual reality is specially propitious to develop micro-structure parts, similarly micro_accerlerometer. In this paper, the corresponding implementation steps of designing virtual micro-accelerometer are given. The virtual environment based on micro computer is established. The micro-accelerometer working in the virtual environment shows that the idea of design method for micro-accelerometer with virtual reality is feasible and the implementation steps are correct.
出处 《吉首大学学报(自然科学版)》 CAS 2002年第2期24-27,共4页 Journal of Jishou University(Natural Sciences Edition)
基金 国家自然科学基金资助项目 (6 97730 5 0 6 9985 0 0 6 )
关键词 虚拟现实 硅微加速度计 拟实运行 参数优化 设计方法 微电子工艺 虚拟环境 virtual reality micro-accelerometer virtual working parameter optimization
  • 相关文献

参考文献3

  • 1邹强,陆德仁,王渭源.对称体微机械电容加速度传感器的结构设计[J].功能材料与器件学报,1998,4(2):105-113. 被引量:6
  • 2WOLFGANG KUEHNEL, STEVEN SHERMAN. A Surface Micromachined Silicon Accelerometer With on - Chip Detection Circuitry [J]. Sensors and Actuator, 1994,45:7- 16.
  • 3WOLFGANG KUEHNEL. Modelling of the Mechanical Behaviour of a Differential Capacitor Acceleration Sensor[J]. Sensors and Actuator, 1995,48:101 - 108.

共引文献5

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