STM-HOPG粒子计数器的原理及应用

STM-HOPG counter for low-energy heavy particles: principle and application

利用具有原子分辨的扫描隧道显微镜 (STM )不仅可以观测单个荷能粒子 (离子或中性粒子 )在高定向热解石墨 (HOPG)表面产生的孤立损伤形貌 ,而且可以通过测量和统计得到大量损伤的单位面积数密度和在空间上的分布规律 ,由此发展了具有高度空间分辨的低能重粒子STM-HOPG计数器。我们测定了该计数器对 5 30— 4 5 0 0keV的H+ 、He+ 、B+ 、C+ 和Au+ 以及不同入射角的 2 0— 10 0keV的N+ 和Ar+ 的探测效率 ,提出了计算探测效率的模型 ,计算结果与实验结果相吻合。计算表明 ,对于低能重粒子的探测效率为 0 .1— 1,探测粒子能量下限可达几十eV。应用此粒子计数器可以进行低能离子透射测量 ,研究低能离子在薄靶材料中的穿透几率以及透射粒子的分布。实验结果显示 ,测量下限达到 0 .1× 10 9— 1× 10 9ions·cm-2 ,上限可达 0 .1× 10 14 — 1× 10 14 ions·cm-2 。采用基于STM -HOPG计数器的低能离子透射方法 ,测量了 2 0— 10 0keVN+和Ar+

Based on the scanning tunneling microscope (STM) observation on energetic-particle induced damage on the surface of highly oriented pyrolytic graphite (HOPG), a novel energetic-particle counter has been developed. The detection efficiency of the detector for heavy ions with keV energies is near 1. The count range is between 0.1×10 9-1×10 9ions·cm -2 and 0.1×10 14 -1×10 14 ions·cm -2 . With the atomic-resolution of STM, the counter can study the distribution of energetic particles in nano-scale. It can be used to detect the penetration behavior of low-energy ions through thin solid target.