微电子工业中的一种新型激光调修技术

新型激光调修技术与常规的CMOS处理方法完全兼容。用这种方法既可以调修模拟器件,也可以调修模拟和数字混合的微电子器件。该方法是用一束激光烧熔硅体,使两个p-n结二极管之间形成电连接而产生一个电阻器件。在自动设备系统中,1s内就可生产出这种激光扩散电阻,其阻值范围从100Ω到几MΩ,激光的重复调修过程可使电阻精度达到50ppm。用这种方法也可做出温度系数接近0的电阻。本文主要阐述生产这种电阻的方法、主要器件和有关处理方式的关键点。