共焦扫描光学显微镜的工业应用

共焦扫描光学显微镜开拓了点探针光学扫描系统三个独特的功能:差分相衬、共焦剖面和光束感生电流(OBIC)像。本文叙述了这些功能在材料显微术、半导体失效分析、生物显微术上的应用,概述了激光扫描共焦显微镜的设计特点。