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光纤传感器的新发展(续)
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摘要
(2)非混合型谐振传感器近年来,使用微加工技术已使小型硅器件在电子工业上的应用得到发展。如果采用这一技术生产谐振结构,那么,激励这种器件所需要的功率极小。
作者
刘长安
俞鲸
机构地区
中国船舶工业总公司第五三研究所
航空航天部航天第一计量测试研究所
出处
《宇航计测技术》
CSCD
北大核心
1991年第6期74-78,共5页
Journal of Astronautic Metrology and Measurement
关键词
光纤传感器
传感器
发展
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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