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光纤传感器的新发展(续)

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摘要 (2)非混合型谐振传感器近年来,使用微加工技术已使小型硅器件在电子工业上的应用得到发展。如果采用这一技术生产谐振结构,那么,激励这种器件所需要的功率极小。
作者 刘长安 俞鲸
出处 《宇航计测技术》 CSCD 北大核心 1991年第6期74-78,共5页 Journal of Astronautic Metrology and Measurement
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