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真空微电子学展望
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摘要
目前正在利用微米大小的微小冷阴极,开始试制微细而能集成的真空管或高精细平板显示器件等。这些试验的目的是利用半导体的微细加工技术,使真空元器件集成化和高性能化,这种叫做真空微电子学的研究,正在开拓前所未有的领域。本文以作者研制的微小真空三极管为中心,介绍真空微电子学的最近动向。
作者
龚治平
出处
《真空电子技术》
北大核心
1991年第5期43-46,56,共5页
Vacuum Electronics
关键词
真空电子学
微电子学
展望
分类号
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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真空电子技术
1991年 第5期
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