真空微电子学展望

目前正在利用微米大小的微小冷阴极,开始试制微细而能集成的真空管或高精细平板显示器件等。这些试验的目的是利用半导体的微细加工技术,使真空元器件集成化和高性能化,这种叫做真空微电子学的研究,正在开拓前所未有的领域。本文以作者研制的微小真空三极管为中心,介绍真空微电子学的最近动向。