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石英管真空热处理工艺
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摘要
讨论了光伏型红外探测器生产过程中石英管的真空热处理工艺。通过对一些工艺参数的试验和比较,获得了对石英管较为适用的真空热处理工艺参数。
作者
周冠山
出处
《真空与低温》
1991年第1期52-58,共7页
Vacuum and Cryogenics
关键词
石英管
真空热处理
红外探测器
分类号
TN215.05 [电子电信—物理电子学]
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真空与低温
1991年 第1期
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