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石英管真空热处理工艺 被引量:1

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摘要 讨论了光伏型红外探测器生产过程中石英管的真空热处理工艺。通过对一些工艺参数的试验和比较,获得了对石英管较为适用的真空热处理工艺参数。
作者 周冠山
出处 《真空与低温》 1991年第1期52-58,共7页 Vacuum and Cryogenics
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