动态流量法校准系统的蒙特卡罗分析

动态流量法校准系统的理论分析,对于提高真空规的校准精度、实际结构最佳参数的选择都具有十分重要的意义。通过对动态流量法校准系统中各误差因素的分析,指出蒙特卡罗法是目前一种比较全面的分析力法;并运用此法跟踪了大量气体分子的运动过程,比较真实地模拟了校准室球内分子流场的分布状况。从定量的角度,选择了真空规的校准区域,建立了校准室校准区域上的压力理论值与实际值之间的修正公式,为全面综合地进行误差分析奠定了基础。