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金刚石薄膜
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摘要
简要介绍了金刚石薄膜的研制历史。介绍了金刚石的结构和性质。文中的第三部分介绍了金刚石薄膜在机械、电子、半导体、光学等领域中的应用。又以其主要的制作法——微波法、热丝法为重点阐述了金刚石薄膜研制工作中的新进展。
作者
孙亦宁
郭晚土
恽辉中
李敬起
机构地区
兰州物理研究所
出处
《真空与低温》
1991年第3期42-49,共8页
Vacuum and Cryogenics
关键词
金刚石薄膜
薄膜
真空镀膜
分类号
TN304.18 [电子电信—物理电子学]
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真空与低温
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