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金刚石薄膜

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摘要 简要介绍了金刚石薄膜的研制历史。介绍了金刚石的结构和性质。文中的第三部分介绍了金刚石薄膜在机械、电子、半导体、光学等领域中的应用。又以其主要的制作法——微波法、热丝法为重点阐述了金刚石薄膜研制工作中的新进展。
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空与低温》 1991年第3期42-49,共8页 Vacuum and Cryogenics
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