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离子束辅助沉积薄膜结构的计算机模拟 被引量:1

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摘要 利用蒙特卡罗法.分析了薄膜柱状结构的成因。通过不同工况薄膜生长的计算机模拟,证明了阴影效应和沉积原子有限迁移是导致柱状结构的原因。采用离子束辅助沉积工艺,可使膜层聚集密度明显提高.柱状结构完全消失。
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空与低温》 1991年第3期8-12,共5页 Vacuum and Cryogenics
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同被引文献22

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引证文献1

二级引证文献6

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