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电子工业的静电防护 被引量：3

Electrostatic Discharge Protection for Electronic Industry
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摘要 随着电子工业的飞速发展 ,静电在电子产品的生产和使用中的危害日趋严重 ,造成巨大的经济损失 .美国电子工业部门每年因静电造成的损失高达 1 0 0亿美元 ,英国为 35亿英磅 .日本 70 %的半导体器件损坏是由静电引起的 .随着电子产品的微细化、高度集成化发展 ,电子器件的静电敏感度阈值趋于低下 ,电子工业生产过程中的静电防护更凸现其迫切性 .
作者 葛自良 刘海兰 马宁生
机构地区 同济大学物理系
出处 《自然杂志》 北大核心 2002年第3期157-161,共5页 Chinese Journal of Nature
关键词 电子工业 静电防护 静电危害 静电放电 电荷积聚 electrostatic discharge protection, electrostatic discharge, electrostatic accident
分类号 X934 [环境科学与工程—安全科学]
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同被引文献30

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引证文献3

二级引证文献10

自然杂志
2002年 第3期

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