基于Φ50mm基座料的硅芯制备工艺研究

在改良西门子法生产多晶硅工艺过程中,硅芯是氢气还原三氯氢硅气相沉积生产多晶硅的载体,本文针对国内硅芯炉基座料直径较小(中30mm-40mm),导致生产效率低和制造成本高的问题,开展了基于Φ50mm基座料的硅芯制备工艺的研究,在硅芯制备过程中热平衡、质量平衡及熔区受力平衡分析的基础上,通过感应电流的优化和线圈结构的改进,成功在在Φ50mm的硅芯基座料上,实现硅芯的稳定生产。