涡流位移传感器灵敏度测量值的不确定度评定

Measurement Uncertainty Evaluation to the Sensitivity of Eddy Current Displacement Sensors

本文依据涡流位移传感器的测量原理,通过分析测量结果的各不确定度分量,进而合成标准不确定度,对传感器灵敏度的测量结果进行分析,为涡流传感器测量位移数据提供判断依据。