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微电子机械系统技术与具体应用
被引量:
1
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摘要
近年来,微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展,已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料,其制品具有集成化、微型化等特点。它的这些特点受到各个领域的青睐,目前许多工业领域期望通过微电子机械系统技术改进技术条件,解决工厂存在的问题。因此,本文将从微电子机械系统的概念,加工过程所采用的技术,及具体应用等方面对其进行探讨。
作者
郭俊莉
机构地区
德州职业技术学院
出处
《中国科技信息》
2014年第16期153-154,共2页
China Science and Technology Information
关键词
微电子机械系统
技术条件
应用
加工过程
技术改进
工业领域
集成化
微型化
分类号
TH-39 [机械工程]
引文网络
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中国科技信息
2014年 第16期
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