期刊文献+

微电子机械系统技术与具体应用 被引量:1

下载PDF
导出
摘要 近年来,微电子机械系统这种新兴的技术迅速发展,已经逐渐影响到人们生活的各个领域。该技术以硅为加工材料,其制品具有集成化、微型化等特点。它的这些特点受到各个领域的青睐,目前许多工业领域期望通过微电子机械系统技术改进技术条件,解决工厂存在的问题。因此,本文将从微电子机械系统的概念,加工过程所采用的技术,及具体应用等方面对其进行探讨。
作者 郭俊莉
出处 《中国科技信息》 2014年第16期153-154,共2页 China Science and Technology Information
  • 相关文献

同被引文献12

引证文献1

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部