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德国开发出可耐高温的新型微芯片

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摘要 在地热生产和石油生产过程中温度通常会超过200℃,高于设备所用的传统微芯片一般能耐受的最高温度。德国弗劳恩霍夫微电子电路与系统研究所(IMS)的研究人员近日开发出一种新型的高温工艺,可以制造出超紧凑型微芯片,这种微芯片在高达300℃的温度下也能正常工作。
出处 《集成电路应用》 2014年第7期44-44,共1页 Application of IC
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