日本东丽公司开发出中空结构聚酰亚胺密封材料

日本东丽公司开发出中空结构的新型感光聚酰亚胺密封黏合薄膜材料。该材料可利用感光图案加工技术，在薄膜内形成微细的中空结构，与以往利用金属板等密封配件的方法相比，可将产品的体积减少1／3。利用该技术可在半导体晶圆上的感光性黏合薄膜中统一形成大量的中空结构。