MP2300在晶圆传输机械手控制系统中的应用

本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行控制系统设计的思路。试验证明,利用MP2300作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。