摘要
以大口径斐索卧式移相干涉仪为研究对象，研究以压电陶瓷（PZT）实现移相为代表的大口径干涉仪所包含的技术难点和解决方案，主要包括大口径平晶的支撑技术与绝对校准、动态波面测试、大口径波面测试技术、移相器在线测试等关键技术，为更大口径的干涉仪的研制提供理论基础研究和关键技术储备。
The key techniques of large-aperture phase-shifting interferometer via PZT are discussed, includings supporting scheme for large-aperture reference mirror, absolute test of large-aperture flat, on-line calibration of piezoelectric （PZT）, test of dynamic phase and large-aperture collimated beam wavefront. Theoretical simulation and experimental measurement are done for developing larger-aperture phase-shifting interferometers.
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第13期232-236,共5页
Acta Optica Sinica
基金
基金项目：江苏省自然科学基金青年基金（BK20140984）、南京信息工程大学校科研基金（$812034001）
关键词
测量
光学测试
大口径干涉仪
PZT移相
关键技术
measurement
optical testing
large-aperture interferometer
phase-shifting via piezoelectric
key techniques
