一种宽频高μr”的Ni－Zn－Co铁氧体膜制作

Manufacture of A Wide Frequency High μr”Ni-Zn-Co Ferrite Film

文章介绍一种可在0．1GHz～1GHz的极宽频率范围内具有高μr”（磁导牢虚部）（〉100）的Ni－Zn－Co铁氧体薄膜。这种薄膜是采用水溶液旋转喷镀工艺，将Ni－Zn－Co铁氧体沉积成薄膜。如果优化配比Ni、Zn、Co和Fe的组分（如组分为Ni0.22，Zn0.52，Co0.03，Fe2.23O4），则其薄膜在频率高达130MHz时，其磁导率实部μr＇〉260，在100MHz～1GHz的极宽频范围，其磁导率虚部μr”〉100、这些磁性薄膜在低温（90℃）制成，不需要在沉积后退火，即可直接覆盖于印刷路板上的噪声源元件上，以实际用作电磁噪声抵制器。