用“优选法”选择硼扩散温度和时间

过去，我厂在硅整流元件的硼扩散工艺中，根据资料及兄弟单位经验，要扩90-100微米，取扩散温度1300℃，保温时间13小时，但由于硅单晶来源不同，参数一致性差，有时扩的深度、浓度达不到要求，影响产品质量。我们采用提高温度和增长时间的办法，使结深增加，工艺最高达1310℃和18小时，也只能扩进80-87微米。