摘要
MEMS（Micro Electromechanical System,即微电子机械系统）是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,可以说囊括了当今科学技术发展的众多尖端成果。MEMS最初大量用于汽车安全气囊,而后以MEMS传感器的形式大量应用在汽车的各个领域也大量出现了MEMS产品的身影。
出处
《今日电子》
2014年第10期25-25,共1页
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