磁膜厚度对磁性能影响的验证

Probation of Magnetic Performance Depended on Magnetic Film Thickness

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摘要文章介绍了一种采用射频磁控溅射技术制作的CoFeBN纳米晶软磁薄膜，检测了其厚度与磁性能的关系。检测揭示，该磁膜的矫顽力在临界厚度时会陡然升高，但在其微观结构方面却没有任何明显的差异。此外，检测发现，B、N的含量增大，可以减小临界厚度。这些磁特性与磁膜的剩余应力有密切关系。

作者高适

出处《磁性元件与电源》 2014年第10期139-140,共2页 Components and Power

关键词软磁薄膜磁性能厚度验证

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磁性元件与电源

2014年第10期

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