空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO_2薄膜(上)

High rate deposition of photocatalytic TiO_2 films with high activity by hollow cathode gas-flow sputtering method

下载PDF

导出

摘要光催化剂TiO2薄膜是用两个平行Ti靶的空心阴极气流溅射方法沉积而成,氩气和氧气流量分别是3000 sccm和0～ 50 sccm,在沉积过程中总气压维持在45 Pa.在氧气流量为30 sccm时,TiO2膜最大沉积率为162 nm/min,之后在空气中300℃,1h进行退火工艺,用来作光催化分解乙醛（CH3CHO）,和一般反应溅射相比,后退火膜显示出非常高的光催化作用.

作者范崇治 Yoshiyuki Kubo Yoshinori Iwabuchi Masato Yoshikawa

机构地区清华大学

出处《太阳能》 2014年第9期16-17,共2页 Solar Energy

关键词空心阴极气流溅射沉积光催化 TIO2

分类号 TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]

引文网络
相关文献

1黄艳芳,刘志军,王建伟,陶贤平,刘金红.催化氧化法合成草甘膦工艺条件研究[J].江苏农业科学,2011,39(2):202-205. 被引量：4
2方佑龄,赵文宽,尹少华,董庆华,孙育斌.纳米TiO_2在空心陶瓷微球上的固定化及光催化分解辛烷[J].应用化学,1997,14(2):81-83. 被引量：79
3张頔.复混肥中钾含量测定方法探讨[J].中氮肥,2010(5):59-62. 被引量：2
4赖君玲,由宏君.非晶态合金催化剂的研究进展[J].辽宁化工,2003,32(5):201-203. 被引量：7
5李杰.25钢退火工艺研究和改进[J].太钢科技,2005(2):45-47.
6宁慧森,白国义.纳米金属催化剂的制备方法及其比较[J].化学推进剂与高分子材料,2007,5(3):15-18.
7能大大延长基体寿命的陶瓷涂层[J].现代材料动态,2008(10):23-23.
8柯丁宁,彭天右,马亮,程海威.BiVO4的水热合成及其光催化分解水产氧性能研究[J].功能材料,2007,38(A07):2524-2525. 被引量：3
9张魁,白雪峰.TiO_2薄膜的固定化技术研究进展[J].化学与粘合,2010,32(4):36-40. 被引量：2
10顾中言,陈明亮,许小龙,韩丽娟.表面活性剂TX-10对溶液表面张力及水稻植株持液量的影响[J].江苏农业学报,2006,22(4):394-397. 被引量：20

太阳能

2014年第9期

浏览历史

内容加载中请稍等...

空心阴极气流溅射法快速沉积具有高活性光催化作用的TiO_2薄膜(上)

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史