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半导体企业扩散设备的改造
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摘要
本文针对半导体企业扩散设备老化后，如何利用原有设备的硬件进行软件升级来实现扩散炉的改造进行简析。
作者
郑爱兵
机构地区
国营第八七三厂
出处
《电子世界》
2014年第20期365-365,共1页
Electronics World
关键词
扩散设备
改造
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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