MoO_x膜中O含量对绿光OLED器件性能的影响

文章为提高以MoO3作缓冲层的绿光电致发光器的空穴注入效率,分别对该缓冲层进行紫外光处理和等离子体处理,研究处理前后其O含量的变化及对器件空穴注入能力的影响。实验结果表明,MoO3蒸镀成膜后变为MoOx,其经紫外光处理后,O含量增多,相应的器件空穴注入能力减弱;而经等离子体处理的MoOx膜,其O含量减少,器件性能提高,最高亮度和电流效率分别达到24000 cd/m2、4.23 cd/A。我们认为该器件的性能与MoOx中O的含量有很大关系,当O含量减少时,造成了更多的氧缺位,降低了MoOx的功函数,提高了器件的空穴注入能力。