MKS-690A电容薄膜真空计精度调整方法研究

MKS-690A是美国MKS公司高精度电容薄膜真空计,精度达万分之五,常被用作国际间比对的传递标准。针对该标准电容薄膜真空计精度降低问题,在探讨其内部结构、工作原理后,给出利用现有设备对其进行精度调整的方法。实际检测证明:该方法简单实用,可操控性强,可为国内其他单位所借鉴。