摘要
介绍目前世界上纳米长度可溯源测量的几种主要方法和使用的典型仪器,包括透射电镜、扫描电镜和扫描探针、粒度测量仪。并介绍了用于校准这些仪器的有证标准物质和标定这些标准物质的一些重要方法。对各类仪器和各类标准物质的使用范围和制作限制进行探讨,并指出现有标准物质的不足和面临的挑战。
The main methods and instruments for traceable nanometrologywere introduced ,include TEM、SEM、Scanning probe、Particle sizeanalyzer. The important methods for calibrated these instruments wereintroduced. The range of these instruments and standard materials wasdiscussed. The reality ＆ challenge of traceable nanometrology wasdiscussed.
出处
《上海计量测试》
2014年第6期8-10,共3页
Shanghai Measurement and Testing
关键词
溯源
标准物质
纳米
traceable
standard materials
nanometrology
