摘要
电子回旋共振微波等离子体技术 (ECR- MP)在表面处理、等离子体刻蚀和薄膜制备 ,尤其是高品质的激光惯性约束聚变薄膜靶的制备中有着重要的应用。综述了 ECR- MP的基本原理、反应装置、实验研究、理论研究和应用情况的发展现状 ,同时分析了其今后可能的发展趋势。
In this paper, the basic concepts, reaction equipment, experimental research, theoretical research and present applications of electron cyclotron resonance microwave plasma(ECR-MP) are reviewed. At the same time, its development in the future is also discussed.
出处
《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期566-570,共5页
High Power Laser and Particle Beams
基金
国家自然科学基金 ( 10 0 75 0 40 )资助课题
中国工程物理研究院行业科学技术预研基金 ( 2 0 0 0 0 32 2 )资助课题
