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应用材料公司近期推出全新PVD沉积系统和全新Endura Volta^(TM)系统
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摘要
应用材料公司于2014年6月12日在北京召开了媒体见面会,由应用材料中国半导体产品事业部技术总监赵甘鸣博士就应用材料公司新近推出的两款全新系统进行了全面宣讲,从技术角度详细介绍了两款全新系统的创新性和先进性。
出处
《电子工业专用设备》
2014年第6期55-57,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
应用材料公司
沉积系统
ATM系统
PVD
技术总监
半导体产品
先进性
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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电子工业专用设备
2014年 第6期
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