瞄准市场定位,发展国产半导体装备
出处
《电子工业专用设备》
2014年第7期62-63,69,共3页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
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5郑秀红,胡静涛.并行集束型半导体装备稳态吞吐量模型研究[J].半导体技术,2012,37(11):869-873.
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9打破多年依赖进口局面纳米等离子刻蚀机进大生产线[J].电子工业专用设备,2010(10):63-64.
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