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基于PDMS的经济型微流体加工技术研究(英文) 被引量:4

Economical microfluidic processing technology based on PDMS
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摘要 聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为一种常见的高分子聚合物材料,是目前微流控芯片中的常用材料。对现有的微流体加工技术进行分析对比后,整合了一套在洁净室外加工微流控芯片流程,包括PDMS微通道结构的制作、表面润湿性的处理、多层键合封装技术及其应用等。这种经济型的加工技术可在大多数普通实验室开展。 As a kind of common polymeric materials,polydimethylsiloxane (PDMS)has become widely used in microfluidic chips.In this paper,a set of fabrication process of the microfluidic chips is presented which doesn’t need clean-rooms,by comparing with the conventional mi-crofluidic processing technology.It includes the fabrication of PDMS microchannel structure,the treatment of surface wettability,and the multilayer bonding technology and its application.This e-conomical processing technology is suitable for the most common laboratory.
出处 《机床与液压》 北大核心 2014年第24期86-92,共7页 Machine Tool & Hydraulics
基金 Project supported by Natural Science Foundation of CQ(No.CSTC2OlljjA 100l8) Chongqing University of Technology Graduate Programs in Education and Teaching Reform(No.yjg2013205)
关键词 聚二甲基硅氧烷 投影仪光刻 微波表面改性 自对准 可插拔 PDMS Projector lithography Microwave modification surface Self-alignment Plug-gable
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引证文献4

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