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国际半导体技术发展路线图(ITRS)2013版综述(4) 被引量：2

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摘要 14 建模与模拟 14．1范围建模与模拟技术覆盖被称为扩展TCAD的半导体建模区域，它是数个使能方法之一，可以减少开发周期和成本。本文中的扩展TCAD覆盖下列典型区域，如图MS1所示：

作者黄庆红黄庆梅

机构地区工业和信息化部电子科学技术情报研究所北京理工大学光电学院

出处《中国集成电路》 2014年第12期13-28,49,共17页 China lntegrated Circuit

关键词半导体技术路线图综述国际 TCAD 模拟技术开发周期建模

分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]

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4黄庆红(译),黄庆梅(校).国际半导体技术发展路线图(ITRS)2013版综述(2)[J].中国集成电路,2014,23(10):13-26. 被引量：2
5郭志峰,郭昭华,王永旺,陈东,张云峰.原子力显微镜和白光干涉仪在表面材料测试中的应用研究[J].表面技术,2018,47(1):254-259. 被引量：8
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3夏承晟,邓惠文,赵书浩,陶伟灏,张国锋,杨树明.芯片表面形貌检测方法及系统研制[J].计测技术,2023,43(1):137-142.
4崔之超,寇宇路,张孟轩,涂小风,徐兵鹏.智能工厂的洁净度控制与改善技术研究[J].机电信息,2023(21):85-88.
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1解沛轩(译),郭新军(校).国际半导体技术发展路线图(ITRS)2012版综述(2)[J].中国集成电路,2013,22(12):18-29.
2全球半导体技术发展路线图[J].集成电路通讯,2008,26(2):14-14.
3王洪波.国际半导体技术发展路线图2008年更新版综述(五)[J].中国集成电路,2009,18(10):26-32.
4为国译.国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(3)[J].中国集成电路,2010,19(4):17-28. 被引量：2
5为国.国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(1)[J].中国集成电路,2010,19(2):14-21. 被引量：2
6王洪波.国际半导体技术发展路线图2008年更新版综述(三)[J].中国集成电路,2009,18(8):20-28.
7为国.国际半导体技术发展路线图(ITRS)2009年版综述(8)[J].中国集成电路,2010,19(10):17-26.
8王明.电子产品的微组装技术[J].集成电路通讯,2008,26(3):48-56. 被引量：1
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10王洪波.国际半导体技术发展路线图2008年更新版综述(一)[J].中国集成电路,2009,18(6):9-15. 被引量：1

中国集成电路

2014年第12期

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