真空弧发射光谱测量的不确定度研究

发射光谱测量是诊断等离子体参数的一种常用方法，但用于真空弧放电形成的等离子体时，由于阴极斑的移动，光谱数据的重复性可能会比较差。为了解各种阴极材料对真空弧发射光谱测量的影响，通过实验得到了当真空弧阴极材料分别为紫铜、Ti和TiH时光谱测量数据的不确定度。结果表明，采用Ti和TiH做阴极材料时的测量结果优于紫铜，适当延长曝光时间可减小测量的不确定度。