Ti-Si-N纳米复合薄膜的超硬性被引量：5

The superhardness of the Ti-Si-N nanocomposite films

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作者胡晓萍虞晓江赖倩茜李戈扬

机构地区上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期631-632,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

关键词 Ti-Si-N纳米复合薄膜超硬性耐磨减摩涂层机械性能氮化钛薄膜

同被引文献78

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电子显微学报

2002年第5期

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