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基片温度对TiB_2薄膜生长形貌及力学性能的影响

Influence of substrate temperature on the growth and mechanical properties of TiB2 thin films
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出处 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期637-638,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society
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参考文献3

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