磁控溅射Fe-N薄膜的微结构研究
Studies of microstructure in Fe-N thin films prepared by magnetron sputtering
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第5期645-646,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 0 710 63 )
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