IMAC400在双臂晶圆传输机械手控制系统中的应用

本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和泰道公司的多轴控制器IMAC400的特点,并以R-θ型双臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用IMAC400进行控制系统设计的思路。试验证明,利用IMAC400作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。