苏州建成6英寸MEMS中试线

中/MEMS企业创新所面临的产品中试困境,制约了我国MEMS产业的发展。日前,中国-新加坡苏州工业园区举办了一场具有特别意义的MEMS传感器产品交付会,苏州纳米科技发展有限公司将6英寸微纳机电制造（MEMS）中试线的首个产品正式交付客户。