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改良西门子法尾气处理及氢气净化工艺
被引量：
3
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摘要
简单介绍了多晶硅生产采用的改良西门子法,着重介绍了尾气处理及氢气净化的原理、工艺流程及还原炉尾气处理实例。
作者
杨紫琪
机构地区
黄河水电光伏产业技术有限公司
出处
《山东化工》
CAS
2015年第2期143-145,共3页
Shandong Chemical Industry
关键词
多晶硅
尾气
净化
分类号
TQ127.2 [化学工程—无机化工]
引文网络
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