期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
晶闸管光刻的工艺原理分析
被引量:
1
下载PDF
职称材料
导出
摘要
光刻工艺是一种复印图像同化学腐蚀相结合的技术。它先采用照相复印的方法,把光刻版上的图形精确地复印在涂有感光胶的二氧化硅层或金属蒸发层上,然后利用光刻胶的保护作用,对二氧化硅或金属层进行选择性腐蚀,从而在二氧化硅或金属层上得到与光刻版相应的图形。
作者
刘继红
李宫怀
机构地区
阜新市天琪电子有限责任公司
出处
《电子技术与软件工程》
2015年第2期139-139,共1页
ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING
关键词
晶闸管
光刻
工艺原理
分类号
TN34 [电子电信—物理电子学]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
2
引证文献
1
二级引证文献
1
同被引文献
2
1
郭龙.
光刻技术在微电子设备上的应用及展望[J]
.中国新通信,2012,14(24):34-34.
被引量:2
2
贾新章,龚自立.
现代工艺水平下工序能力指数C_(pk)的计算[J]
.西安电子科技大学学报,2001,28(4):452-455.
被引量:9
引证文献
1
1
宋玲玲.
统计过程控制在光刻工序中的应用[J]
.微处理机,2020,41(4):33-36.
被引量:1
二级引证文献
1
1
齐德全,魏思琪.
基于AMCUSUM的道路交通事件检测方法[J]
.长春理工大学学报(自然科学版),2023,46(5):137-142.
1
白继锋,高欣,薄报学,黄尊祥,陈凯轩,马祥柱.
湿法表面粗化提高倒装AlGaInP LED外量子效率[J]
.半导体光电,2012,33(2):188-190.
被引量:3
2
杨建义,王明华,江晓清,周强,周伟勤,孙一翎.
GaAs衬底层选择性腐蚀技术[J]
.光电子.激光,1998,9(1):51-53.
被引量:3
3
齐云,黄柏标,陈文澜,于永琴,周海龙.
利用双基色发光二极管研究白光发光二极管[J]
.激光与光电子学进展,2002,39(9):41-44.
4
母志强,薛忠营,陈达,狄增峰,张苗.
选择性腐蚀Si_(1-x)Ge_x与Si制备绝缘体上超薄应变硅[J]
.半导体技术,2013,38(1):40-44.
被引量:4
5
杨慧,林鑫,李国强.
选择性腐蚀确定GaN薄膜中位错类型[J]
.半导体技术,2012,37(12):943-949.
被引量:1
6
王亚楠,李耀耀,王朋,曹春芳,朱忠赟珅,王庶民.
锗基InAs量子点激光器的腔面失效及再生的研究[J]
.半导体光电,2017,38(1):8-11.
7
李文兵,韩勤,杨晓红,杜云,朱彬,倪海乔.
利用C_6H_8O_7/H_2O_2溶液对Al_xGa_(1-x)As/GaAs的选择性腐蚀制作空气腔结构的研究[J]
.微细加工技术,2007(6):57-61.
8
田波,吴郁,胡冬青,亢宝位.
采用优化的腐蚀工艺对TiSi_2接触特性的改善[J]
.北京工业大学学报,2009,35(6):738-741.
9
孙海燕,刘海龙,胡小燕,谢珩.
量子阱红外探测器衬底完全去除技术研究[J]
.激光与红外,2014,44(11):1213-1215.
10
王冬华,靳国强,郭向云.
碳化硅纳米线的湿腐蚀研究[J]
.材料导报,2009,23(16):5-7.
被引量:1
电子技术与软件工程
2015年 第2期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部