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超纯水制备工艺及设备的研究
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摘要
随着光伏、电子产业的快速发展,对工业用水的要求越来越高,本文系统介绍了18M超纯水制备的工艺及设备,采用反渗透水+电去离子(EDI)设备进行搭配的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保、经济、发展潜力巨大的超纯水制备工艺。
作者
余方智
孙智育
王了辽
机构地区
中联西北工程设计研究院/陕西昕宇表面工程有限公司
出处
《中国科技成果》
2014年第22期46-47,共2页
China Science and Technology Achievements
关键词
超纯水
工艺流程
电去离子(EDI)设备
反渗透
混床离子交换
分类号
TQ085.4 [化学工程]
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